10月21日，由我国自主开发研制的首台12英寸PECVD设备样机，在沈阳拓荆科技有限公司出厂,这标志着我国在集成电路高端设备（PECVD）研究和制造领域的技术达到了国际先进水平，打破了国外产品的市场和技术垄断，确立了沈 ... 沈研发出首台12英寸PECVD设备样机
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